氧化锌基透明导电薄膜的制备与性能研究

摘 要透明导电氧化物薄膜(俗称TCO)因其优良的电导性，以及在可见和近红外光波段良好的光学透过率，广泛应用于透明电极、电磁屏蔽、热反射镜、电致变色窗、气敏传感器、红外隐身材料及柔性电子器件等领域。目前