分子外延系统MBE 技术规格及要求

分子外延系统MBE 技术规格及要求一、产品技术规格产品要求概述主要包括一个可容纳单片3英寸半导体衬底（GaAs、InP及Si）的III-V化合物分子束外延生长系统。生长的样品具有低表面缺陷密度，高电子