对称解耦硅微机械陀螺仪结构设计技术研究的中期报告

对称解耦硅微机械陀螺仪结构设计技术研究的中期报告一、研究背景及意义微机械陀螺仪是一种重要的微纳系统传感器，在导航、自动驾驶、航空航天等领域有着广泛的应用。但是，由于陀螺仪的静电耦合和热漂移等问题，需要