ofjAAA磁控溅射

2.2.1.溅射原理 溅射法沉积薄膜是物理气相沉积的一种,它利用荷电的离子在电场中加速后具有一定动能的特点,将离子引向预溅射的靶电极,在入射离子能量合适的情况下,将靶表面的原子溅射出来。这些被溅射出来