高纯四氯化硅供应系统在光纤预制棒生产中的应用李东升样稿

高纯四氯化硅供给系统在光纤预制棒生产中应用李东升，龚小雷(上海正帆科技，上海 08)[摘 要] 高纯四氯化硅是光纤预制棒生产关键原料。其输送系统稳定性直接影响到预制棒质量。本文从系统设计角度，叙述了