部分功能薄膜及其制备方法

- 功能薄膜及其制备方法 - 采用某种工艺，在一定的基体表面上形成厚度在1000nm以内材料，称为薄膜。功能薄膜之所以成为研究的热点，并且具有广阔的应用前景，是与薄膜材料