平面子孔径拼接的干涉测量研究的任务书

平面子孔径拼接的干涉测量研究的任务书任务书任务名称：平面子孔径拼接的干涉测量研究任务目的：针对目前制造领域中广泛应用的子孔径拼接技术，基于光学干涉测量方法，研究该技术的测量精度与稳定性，为实际生产应用