集成电路铝制程刻蚀后清洗液技术原理与性能提升

集成电路铝制程刻蚀后清洗液技术原理与性能提升集成电路铝制程刻蚀是IC制造过程中不可或缺的一个步骤，但刻蚀过程会让铝表面留下一些残留物，这些残留物对晶圆的电性能造成影响，因此需要使用清洗液清洗残留物。本