MOS集成电路工艺基础

- 2.3 MOS集成电路工艺根底 - 在前面的讨论中，我们已看到多个晶体管的平面图形和剖面结构〔图2-1〕，那么，它们是怎么在硅片上形成的呢?在这一节中，将介绍集成