改良西门子法生产多晶硅工艺流程

改良西门子法生产多晶硅工艺流程来源 : 日晶科技 作者 : 顾斌 时间 :2010-07-29氢气制备与净化工序在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷却、分离液体后，进入除氧器， 在催化