In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb)MOVPE工艺设计

In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb)MOVPE工艺设计热力学分析与MOVPE工艺设计在材料科学与工程领域中具有重要的意义。本文将通过对In-As-Sb-C-H五元系进行热力学分