集成电路制造工艺与工程应用第五章课件ppt

- WAT的目的是通过对晶圆产品上特定的测试结构进行WAT参数电性测试，检测晶圆产品是否符合工艺的规格要求。WAT测试数据有很多方面的用途：第一、作为出货的判断依据，对晶圆产品进行质量检验；第二、数据