微细和纳米加工技术 光学曝光技术（2.4 光刻胶的特性）

- ★光刻胶是指一大类具有光敏化学作用的高分子聚合物材料。★光刻胶又称为“抗蚀剂”，因为它的作用就是作为抗刻蚀层保护晶圆表面。★光刻胶只是一种形象的说法，因为这类聚合物从外观上呈现为胶状液体。