基于有限元法的MEMS热电效应仿真研究的中期报告

基于有限元法的MEMS热电效应仿真研究的中期报告本研究旨在使用有限元方法对MEMS（微机电系统）的热电效应进行仿真研究。本文是中期报告，主要介绍了我们的研究进展和计划。1. 研究背景和意义随着微纳技术