硅片自旋转磨削中基于力的微接触机理

硅片自旋转磨削中基于力的微接触机理硅片自旋转磨削中基于力的微接触机理摘要：自旋转磨削是一种常见的精密加工方法，广泛应用于硅片加工等领域。本文主要探讨了硅片自旋转磨削过程中基于力的微接触机理。通过分析硅