容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究

容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究摘要：容性耦合射频放电等离子体在微电子设备制造和表面工程等领域具有重要的应用。本文通过对容性耦合射频放电