Ti掺杂6H-SiC电学性质研究

Ti掺杂6H-SiC电学性质研究Ti掺杂6H-SiC电学性质研究摘要：本研究旨在通过掺杂钛（Ti）对6H-SiC材料的电学性质进行研究。通过实验测量，得出了掺杂对6H-SiC电导率的影响，并探讨了其在