多线切割线痕产生原因

多线切割线痕产生原因1.硅片表面出现单一的一条阴刻线（凹槽）、一条阳刻线（凸出），其实不是由于碳化硅微粉的大颗粒造成的，单晶硅、多晶硅在拉制过程中出现的硬质点造成跳线，而形成的线痕；硅片