基于高κ介质Al2O3反熔丝器件特性研究

基于高κ介质Al2O3反熔丝器件特性研究基于高κ介质Al2O3反熔丝器件特性研究摘要：近年来，随着纳米电子器件的快速发展，对高性能隔离材料的需求也越来越迫切。高κ介质材料由于其较高的介电常数和较低的导