1.碳化硅加工工艺流程图

碳化硅加工工艺流程一、碳化硅的发展史：1893年 艾奇逊 发表了第一个制碳化硅的专利，该专利提出了制取碳化硅的工业方法，其主要特点是，在以碳制材料为炉芯的电阻炉过加热二氧化硅和碳的混合物，使之相互反应