国家标准电子工厂洁净厂房设计规范

- 1、电子工厂洁净厂房特点 - 电子产品生产发展迅猛 IC特征尺寸0.05μm,12〞～16 〞，64G TFT第六代产品对化学污染物的严格要求大面积、大体量、组合式、多