多晶硅铸锭石英坩埚和氮化硅涂层的研究

多晶硅铸锭石英坩埚和氮化硅涂层的研究摘 要在多晶硅生产工艺中作为多晶硅铸锭关键的辅助材料石英坩埚和氮化硅，辅材内的杂质含量不仅影响着多晶硅的少子寿命，而且会影响着硅锭的脱模效果。原则上讲，使用纯度越高