极紫外光刻复眼匀光离轴照明系统及实现离轴照明的方法

(19 )中华人民共和国国家知识产权局(12 )发明专利申请(10)申请公布号 CN103092000A(43)申请公布日2022. 05. 08(21)申请号 CN202210458887.X(22