SU--8胶薄膜应力梯度测量方法研究的任务书

SU--8胶薄膜应力梯度测量方法研究的任务书任务书项目名称：SU-8胶薄膜应力梯度测量方法研究1. 项目背景和目标1.1 项目背景SU-8是一种常用的胶薄膜材料，广泛应用于微纳加工、MEMS（微机电系