物理气相沉积(PVD)技术

物理气相沉积(PVD)技术第一节概述物理气相沉积技术早在20世纪初已有些应用，但在最近30年迅速发展，成 为一门极具广阔应用前景的新技术。，并向着环保型、清洁型趋势发展。20世纪 90年代初至今，在钟