论薄膜材料的应用与发展

论薄膜材料的应用与发展（一）论文关键词：薄膜；金刚石；铁电；氮化碳；半导体；超晶格论文摘要：薄膜材料的发展以及应用，薄膜材料的分类，如金刚石薄膜、铁电薄膜、氮化碳 薄膜、半导体薄膜复合材料、超晶格薄膜