高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性研究

高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性研究高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性研究摘要：本文主要研究高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性。研究发现该平台具有非常优秀的运动性能，能够实现高精度