化学气相沉积金刚石薄膜成核机理研究
化学气相沉积金刚石薄膜成核机理研究化学气相沉积金刚石薄膜成核机理研究金刚石薄膜是一种优秀的功能材料,具有良好的机械、光学、电学和热学性能,广泛应用于微电子、光电子、机械等领域。目前金刚石膜制备方法主要