基于柔性衬底的双端固支梁RF MEMS开关相位特性研究

第 ３４ 卷 第 ７ 期２０２１ 年 ７ 月传 感 技 术 学 报ＣＨＩＮＥＳＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＳＥＮＳＯＲＳ ＡＮＤ ＡＣＴＵＡＴＯＲＳＶｏｌ. ３４ Ｎｏ. ７Ｊｕｌｙ ２０２１Ｐｈａｓｅ