《薄膜物理与技术》课程教学改革的研究与实践

《薄膜物理与技术》课程教学改革的研究与实践摘要：《薄膜物理与技术》是微电子、光学工程、应用物理学等相关专业本科生重要的专业基础课，其教学目的是使学生掌握薄膜制备技术、薄膜形成与生长、薄膜性能表征、薄膜