单片集成cmos电容式压力传感器设计、制备和测试

摘 要 硅压力传感器广泛应用于气象测量与监控领域。最早出现的是压阻式压力传感器，其后 出现的电容式压力传感器发展最为迅速。它具有高灵敏度、结构坚固、温度漂移小等优点。 为了与当前标准的CMOS IC工