大长径比SiC包壳化学气相沉积增密模拟及实验研究的开题报告

大长径比SiC包壳化学气相沉积增密模拟及实验研究的开题报告一、选题背景及研究意义在石墨烯、半导体、能源等领域，硅碳化物（SiC）材料被广泛应用。由于SiC具有高硬度、高熔点和高耐腐蚀性等优良性能，因此