MPCVD等离子体的发射光谱研究

MPCVD等离子体的发射光谱研究MPCVD等离子体的发射光谱研究摘要：随着大规模集成电路和光电子器件的需求不断增长，对于高质量薄膜材料的研究越来越受到关注。其中，金属有机化学气相沉积（Metal-or