基于生成氟硼酸钾的电感耦合等离子体原子发射光谱法测定多晶硅中硼

基于生成氟硼酸钾的电感耦合等离子体原子发射光谱法测定多晶硅中硼电感耦合等离子体原子发射光谱法 (Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrosc