MEMS加速度计的原理及运用

MEMS加速度计的原理及运用高鹏 黄国胜2006．12.19目录1.MEMS加速度计基本原理分析1.1 MEMS简介1.2微加速度计的类型1.3 差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理1.4 MEM