MPCVD法中氮气对单晶金刚石生长机理影响的探究

MPCVD法中氮气对单晶金刚石生长机理影响的探究随着科技的进步和对材料性能的不断追求，人们对于高性能单晶金刚石的需求不断增加。在单晶金刚石的制备过程中，MPCVD（微波等离子体化学气相沉积）法成为了较