第四章真空蒸发镀膜法

- 二. 真空蒸发镀膜原理 - 图为真空蒸发镀膜原理示意图。主要局部有：真空室，为蒸发过程提供必要的真空环境；蒸发源或蒸发加热器，放置蒸发材料并对其进展加热；基板〔基片〕，用于接