氮气反应溅射制备CoSb多层膜研究

氮气反应溅射制备CoSb多层膜研究氮气反应溅射制备CoSb多层膜研究摘要：随着纳米材料的发展和应用越来越广泛，制备高质量的纳米材料变得越来越重要。本研究采用氮气反应溅射技术，制备了CoSb多层膜，并对