低气压等离子体发生及其电学光学特性研究

低气压等离子体发生及其电学光学特性研究摘要本文主要探讨了低气压等离子体的发生机理以及其电学和光学特性。首先，介绍了低气压等离子体产生的原理和分类。其次，讨论了低气压等离子体的电学性质，包括等离子体的电