基于多孔硅牺牲层的MEMS电容式压力传感器研究的任务书

基于多孔硅牺牲层的MEMS电容式压力传感器研究的任务书任务书一、项目名称基于多孔硅牺牲层的MEMS电容式压力传感器研究二、研究背景随着科技的不断进步，MEMS技术在传感器领域得到了广泛应用。MEMS电