基于硅纳米线阵列的可见--近红外光探测器制备及其性能研究

基于硅纳米线阵列的可见--近红外光探测器制备及其性能研究摘要：本文中，我们报道了一种基于硅纳米线阵列制备的可见-近红外光探测器。首先使用化学蚀刻法制备纵向硅纳米线阵列，然后在硅纳米线上沉积氧化铝或氧化