新型超高纯CuMn合金溅射靶材的微观组织表征

L前沿技术eading-edge technology新型超高纯 CuMn 合金溅射靶材的微观组织表征王少平1，2，姚力军2，钟伟华2，杨 辉 1（1. 浙江大学，材料科学与工程学院，浙江 杭州 31