外协加工说明

外 协 加 工 说 明在广东省重点领域研发计划项目—电子束曝光机研制（No. 2018B）中，北京大学为第二单位，主要任务为精密激光干涉样品台及样品室研制。项目执行过程中需要加工样品室、样品台及真空系