第2章MEMS设计中的尺度效应ppt课件

- 用于微系统的设计尺度规律 - 第一种规律是严格依据物体的尺寸，如几何结构的尺度。这类物体的行为由物理定律所决定。第二种尺度规律涉及微系统的现象行为尺度，考虑到系统的尺寸和材料