超精密静压导轨油膜支撑特性分析

超精密静压导轨油膜支撑特性分析超精密静压导轨是一种高精度运动控制装置，应用于精密加工、光学制造、精密测量等领域。其支撑方式采用气体静压技术，在导轨表面形成气膜，以提供良好的支撑和摩擦性能。该论文旨在分