磁控溅射镀膜技术简述

磁控溅射镀膜技术简述磁控溅射镀膜技术简述 科技前沿?Frontline 磁控溅射镀膜技术简述 撰文/刘瑞鹏李刘合 上世纪80年代开始,磁控溅射技术得到迅猛的发 展,其应用领域得到了极大地推广.现在磁控