纳米超薄高k材料的工艺研究与性能表征的开题报告

纳米超薄高k材料的工艺研究与性能表征的开题报告一、选题背景随着半导体工艺的不断进步，芯片的集成度也在不断提高，而芯片元件的尺寸也随之不断缩小。因此，为了满足集成电路中对高介电常数材料的需求，纳米超薄高