硅集成电路工艺基础

普通高等教育 “十五” 国家级规划教材硅集成电路工艺基础关旭东 编著北 京 大 学 出 版 社北 京内 容 提 要本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺 重点 放在工艺物 理基础和基 本原理上。全书