MEMS传感器误差建模技术研究

MEMS传感器误差建模技术研究摘要：微机电系统（MEMS）传感器是一种高度集成化、小型化的传感器，广泛应用于工业、航空航天、医疗等领域，但是由于其工作环境复杂及制造工艺因素，常常会出现误差。误差建模技