多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究

多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究摘要本文研究了基于多孔硅的MEMS非制冷红外探测器的微结构和工艺，介绍了制备过程、性能优化及未来的发展方向。首先，介绍了MEMS技术背景和多孔硅的制备方